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姓 名:
李世光
性    别:
职 务:
职    称:
副研究员
学 历:
博士
通讯地址:
北京市朝阳区北土城西路3号
电 话:
邮政编码:
100029
传 真:
电子邮件:
lishiguang@ime.ac.cn

所属部门:
微电子仪器设备研发中心
简历:

  教育背景

  1989年9月~1993年7月                哈尔滨工业大学光学仪器学士学位1993年9月~1996年3月                哈尔滨工业大学光学仪器硕士学位

  2000年9月~2005年7月                清华大学光学工程博士学位

  工作简历

  1996.04 - 1998.01 航天部北京空间机电研究所,助理工程师

  2005.12 – 2009.11 Singapore-MIT Alliance, Singapore,Research Fellow

  2010.03 – 2011.05 the University of North Carolina, USA,Post doctor 2011.10 – 今 中国科学院微电子研究所 副研究员

  2016.2 – 今 东方晶源微电子科技(北京)有限公司 项目经理,项目总监

研究方向:
  光电技术,光学工程,光学检测
学科类别:
社会任职:
获奖及荣誉:
代表论著:
  

国内外期刊、会议发表29篇论文,举例如下:

  [1] 孙裕文,李世光,宗明成,基于空间分光的纳米级调焦调平测量技术, 光学学报, 20165

  [2] 孙裕文,李世光,叶甜春,宗明成,纳米光刻中调焦调平测量系统的工艺相关性, 光学学报, 20168

  [3] Li S G, Xu Z G, Yoon S F and Fang Z P, Feasibility study on bonding quality inspection of microfluidic devices by optics coherence tomography, J. of Biomedical Opt., 2011, 16(6): 066011

  [4] Li S G, K. D. Mohan, W. W. Sanders and A. L. Oldenburg. "Toward soft-tissue elastography using digital holography to monitor surface acoustic waves." Journal of Biomedical Optics, 16(11):116005 (2011)

  [5] Li S G, Liu J, Nguyen N T, Fang Z P, Yoon S F, Measurement of buried undercut structures in microfluidic devices by laser fluorescent confocal microscopy, Applied Optics, 2009, 48 (33): 6432-6441

  [6] Li S G, Thorsen T, Xu Z G, Fang Z P, Yoon S F, Microvalve Thickness and Topography Measurements in Microfluidic Devices by White Light Confocal Microscopy, Applied Optics,. 2009, 48(27):5088-94

  [7] Xu Z G, Li S G, Shilpiekandula V, Taylor H K, Yoon S F, Youcef-Toumi K, Reading I, Fang Z P, Zhao J H, Boning D S. Three-Dimensional Profile Stitching Based on the Fiducial Markers for Microfluidic Devices. Optics Communications, 2009, 282, p493–499

  [8] Li S G, Xu Z G, Reading I, Yoon S F, Fang Z P and Zhao J H. Three dimensional sidewall measurements by laser fluorescent confocal microscopy, Opt. Express, 2008, 16: 4001-4014

  [9] Li S G, Xu, Z G, Mazzeo A, Burns D J, Fu G, Dirckx M, Shilpiekandula V, Chen X, Nayak N C, Wong E, Yoon S F, Fang Z P, Youcef-Toumi K, Hardt D, Tor S B, Yue C Y and Chun J H. Review of production of microfluidic devices: material, manufacturing and metrology, 2008, France, SPIE 6993: 69930F-1-12

  [10]      Taylor H K, Xu Z G, Li S G, Youcef-Toumi K, Yoon S F, and Boning D S, Moire fringe method for the measurement of distortions of hot-embossed polymeric substrates, 2008, Singapore, SPIE 7155: 715528-715528-9

  [11]      Li S G, Fu Gang, Reading Ivan, Tor S B, Loh N H, Chaturvedi P, Yoon S F, and Youcef-Toumi K. Dimensional variation in production of high-aspect-ratio micro-pillars array by micro powder injection molding. Applied Physics A, 2007, 89: 721-728

  [12]      Li S G, Yang C X, Zhang E Y, and Jun G F. Dynamic performance of magneto-optical Bi-substituted rare-earth iron garnet. Chin. Opt. Lett., 2005, 3(1): 38-41

  [13]      Li S G, Yang C X, Zhang E Y, and Jin G F. Compact optical roll angle sensor with large measurement range and high sensitivity. Opt. Lett., 2005, 30(3): 242-244

  [14]      范志刚,张伟,李世光,金海. 角锥棱镜不同方位反射光束的能量分布, 航空计测技术, 15(4), 8-12, 1995

承担科研项目情况:

  [1] 86ps动态范围、6比特、高速可编程偏振模色散补偿器,国家863计划项目,核心成员

  [2] 浸没光刻机系统需求与技术指标分析和评估,国家02专项,核心成员

  [3] EUVL 技术体系与共性技术研究,国家02专项,部分期间核心成员

  [4] 红外目标模拟器光学成像系统方案论证,航天部预研项目,核心成员

  [5] 高分辨率空间相机研制,航天部项目,研发工程师

  [6] 生产环境中大规模、高产出、基于塑料的微流体器件的测量技术研究,新加坡-麻省理工联盟博士后项目(新加坡),核心成员

  [7] 光学数字全息术对生物组织的粘弹性研究,北卡罗来纳大学博士后项目(美国),核心成员

  [8] 电子束检测系统中高度传感器研发,公司合作开发项目,项目经理

  [9] 大范围、高灵敏度、紧凑型光学滚转角传感器研制,个人兴趣研究

专利申请

  201410374962.3 一种调焦调平传感器测量装置,发明,授权

  201410676554.3一种平凸透镜对心安装装置,发明,授权

  201410718598.8 一种垂向调整装置,发明,公开

  201310003089 一种靶源预整形增强的极紫外光发生装置,发明,授权

  201210479101 一种EUV光源污染物收集装置,发明,授权

  03150120 偏振模色散补偿系统,发明,授权

备注:
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