研究队伍
 
 
 
 
 
 
 
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姓 名:
李超波
性    别:
职 务:
研发中心副主任
职    称:
研究员
学 历:
工学博士
通讯地址:
北京市朝阳区北土城西路3号
电 话:
010-82995651
邮政编码:
100029
传 真:
010-82995687
电子邮件:
lichaobo@ime.ac.cn

所属部门:
微电子仪器设备研发中心
简历:

  教育背景

  1997-2001 山东大学 通信与信息系统 理学学士

  2002-2007 中国科学院微电子研究所 微电子学与固体电子学 工学博士  

  工作简历

  2007.07至今,在中国科学院微电子研究所工作,现为研究员、硕士生导师、微电子设备技术研究室副主任,中科院青联委员,北京市生产力促进中心特聘责任专家。

  1. 2007年~2009年,中国科学院微电子研究所微电子设备技术研究室工作,任新原理装备课题组组长、助理研究员

  2. 2009年~2011年,任微电子设备技术研究室主任助理、副研究员

  3. 2011年起,任微电子设备技术研究室副主任、副研究员

  4. 2014年起, 任微电子设备技术研究室副主任、研究员

  5. 2015年起,任微电子仪器设备研发中心副主任、研究员,中科院青联委员


研究方向:

新原理纳米加工工艺与装备、MEMS制造与传感技术、智能装备

学科类别:
社会任职:
北京市科委精机工程(微电子装备、智能可穿戴领域)特聘责任专家
获奖及荣誉:

  1. 离子体浸没离子注入机开发与应用,北京市科学技术奖三等奖,2014 

  2. 原子层沉积系统级工艺,全国发明展览会一等奖,2011 

  3. 高亮度LED图形化衬底刻蚀系统及工艺,全国发明展览会三等奖,2011 

  4. 首都科技条件平台中科院研发试验服务基地测试基金一等奖,2009 

  5. 中国科学院青年创新促进会首批优秀会员,2015 

  6. 中国科学院青年创新促进会首批会员,2011 

  7. 中国科学院微电子研究所特别表现奖,2008 

    8. 中国科学院优秀毕业生,2007
代表论著:

  1. Preparation of ZnO films with variable electric field-assisted atomic layer deposition technique,Applied Surface Science,2014

  2. 浸没式等离子体注入设备的仿真优化,真空科学与技术学报,2014

  3. 原子层沉积生长速率的控制研究进展,无机材料学报,2014

  4. High-precision thickness regulation of graphene layers with low energy helium plasma implantation,Nanotechnology,2012

  5. Anodic bonding using a hybrid electrode with a two-step bonding process,Journal of Semiconductors,2012

承担科研项目情况:

  1. 中国科学院青年创新促进会优秀会员人才计划,2016-2018

  2. 可控原位掺杂的原子层薄膜制备系统,中科院装备研制项目,2013-2015

  3. 45nm铜互连清洗设备工艺腔室与工艺开发,2013-2015

  4. 等离子体浸没超低能离子注入机,国家科技重大专项,2009-2014,负责人

  5. 中国科学院青年创新促进会会员,2011-2014

  专利申请

  1. 一种用于微流体系统中的对准键合结构及其制作方法,发明专利,2015

  2. 一种等离子体浸没注入装置,发明专利,2011

  3. 利用等离子体浸没离子注入制备黑硅的方法,发明专利,2010

  4. 用于双腔室结构等离子体浸没离子注入的隔板装置,发明专利,2010

  5. 基片离子均匀注入的方法,发明专利,2010

  6. 一种用于等离子体浸没注入剂量检测的法拉第装置,发明专利,2009

 


备注:
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