研究队伍
 
 
 
 
 
 
 
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姓 名:
宗明成
性    别:
职 务:
首席科学家
职    称:
研究员
学 历:
博士
通讯地址:
北京市朝阳区北土城西路3号
电 话:
010-82995870
邮政编码:
100029
传 真:
010-82995870
电子邮件:
zongmingcheng@ime.ac.cn

所属部门:
微电子设备技术研究室(八室)
简历:
教育背景
1989年毕业于清华大学物理系,获理学(光学)博士学位。
1986年毕业于东南大学电子工程系,获工学硕士学位。
1983年毕业于东南大学电子工程系,获工学学士学位。。
工作简历
2011.04 –至今:中国科学院微电子研究所研究员、博士生导师,国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”专家组和实施办公室特聘专家,2011年9月1日入选第六批千人计划。中国科学院光电研究院兼职研究员,中国科学院长春光机所兼职研究员,哈尔滨工业大学兼职教授。
2009.05 – 2011.03:荷兰皇家飞利浦照明研发中心(中国)总监。
2000.01 – 2009.05:荷兰ASML光刻机公司研发经理,高级工程师。
1999.02 – 1999.12:荷兰国家原子分子研究所 (AMOLF)研究员。
1998.02 – 1999.01:荷兰代尔夫特(Delft)技术大学研究员。
1990.01 – 1998.01:北京交通大学教授,系主任等。
研究方向:
光刻技术,光学工程,精密计量,精密测控技术, 极紫外(EUV)技术等。
学科类别:
社会任职:
获奖及荣誉:
代表论著:
承担科研项目情况:
备注:
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