研究队伍
 
 
 
 
 
 
 
现在位置:首页 > 研究队伍 > 专家人才
 

姓 名:
李国光
性    别:
职 务:
课题负责人
职    称:
研究员
学 历:
博士
通讯地址:
北京市朝阳区北土城西路3号
电 话:
010-82995771
邮政编码:
100029
传 真:
电子邮件:
liguoguang@ime.ac.cn

所属部门:
微电子设备技术研究室(八室)
简历:

教育背景
1978-1982: 复旦大学物理系 半导体专业, 学士
1982-1985: 复旦大学物理系 表面物理专业, 硕士
1989-1994: 美国加州大学圣塔克鲁司分校物理系 博士

工作简历
1985-1989: 复旦大学材料科学系 讲师
1994-2000: 美国nk科技公司, 研发部长
2000-2002: 美国耐诺股份有限公司, 算法研发部长
2002-2009: 美国nk科技公司, 首席科学家
2010-      中科院微电子研究所, 研究员,博士生导师

研究方向:

极大规模集成电路硅片光学测量与检测技术研究和设备研制, 薄膜和关键尺寸光学测量

学科类别:
社会任职:
获奖及荣誉:
代表论著:
1. G. G. Li, Frank Bridges, and George S. Brown, “Multielectron x ray photoexcitation observations in XAFS background”, Phys. Rev. Lett. 68,  1609 (1992). (被引用105+ 次)
2. G. G. Li, F. Bridges, J. B. Boyce, and W. C. H. Joiner, “Local structure of Co and Fe substituted Yba2Cu3O7 studied by x ray absorption spectroscopy”, Phys. Rev. B 47, 12110(1993).
3. G. G. Li, J. Mustre de Leon, S. D. Conradson, and M. A. Subramanian,” Local distortions of the TlO layers in Tl based high temperature superconductors”, Phys. Rev. B 50, 3356(1994).
4. G. G. Li, F. Bridges, J. B. Boyce, T. Claeson, C. Strom, S. G. Eriksson, and S. D. Conradson, “Correlated local distortions of the TlO layers in Tl2Ba2CuOy: an x ray absorption study”, Phys. Rev. B 51, 8564 (1995).
5. G. G. Li, F. Bridges, and C. H. Booth, “XAFS Standards: A Comparison of theory and experiment”, Phys. Rev. B 52, 6332 (1995) (被引用 153+ 次).
6. Guoguang Li, Shuqiang Chen, and Phillip Walsh, “Optical determination of pattern feature parameters using a scalar model having effective optical properties”, US7212293(2007).
7. Guoguang Li, Shuqiang Chen,  A. R. Forouhi, “System and method for measuring overlay alignment using diffraction gratings”, US7289214(2007).
8. Guoguang Li, “Broadband optical metrology with reduced wave front distortion, chromatic dispersion compensation and monitoring”, US7755775 (2010).
9. Guoguang Li, “Implementation of Rigorous Coupled Wave Analysis Having Improved Efficiency for Characterization”, US7756677(2010).
10. Guoguang Li, “Method and apparatus for phase-compensated sensitivity-enhanced spectroscopy (PCSES)”, US2010/0245819A1 (2010)
承担科研项目情况:
现任“45-22nm OCD检测系统研发与产业化”课题负责人, 该项目属国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”(02)。
备注:
文章下载: