研究队伍
 
 
 
 
 
 
 
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姓 名:
夏洋
性    别:
职 务:
职    称:
研究员
学 历:
博士
通讯地址:
北京市朝阳区北土城西路3号
电 话:
邮政编码:
100029
传 真:
电子邮件:
xiayang@ime.ac.cn

所属部门:
微电子设备技术研究室(八室)
简历:

留学经历:
2004年完成科研政策和管理德国班培训。

工作经历:
1983-1987年在江西师范大学任教,负责近代物理实验室建设和教学工作。90-94年在北京航空材料研究院工作,从事快速凝固铝合金、金属基复合材料研制工作。98年至今,在中科院微电子研制所工作,从事超大规模集成电路研究,研究员,博士生导师。2002年兼任科技处处长,负责微电子所科研、开发和质量管理,2004年兼任所长助理。2002-2005年任两届国家自然基金委信息科学部专家,2002-2004年曾任国家973咨询专家组专家(已换届),中国电子学会半导体及集成技术分会副秘书长。

研究方向:

微电子工艺及装备

学科类别:
材料物理
社会任职:
获奖及荣誉:

航空部科技进步三等奖一项
北京市发明一等奖一项

代表论著:
承担科研项目情况:

1990-1994年完成快速凝固高强铝锌合金,快速凝固中强低密度铝锂合金,快速凝固中强耐高温铝铁合金系列研究,为航空材料的应用提供了新的体系。首次提出复合型粉末高性能阻尼铝合金功能材料,XD金属基复合材料,为X型号机提供了大型零件。完成火箭推进剂用高纯球形铝粉中试生产线研制和推广工作,该项目获航空部科技进步三等奖。
1995-1998年在国内首次完成实用型磁阻式计算机硬盘读出头的研制,同时利用MEF观测到微细软磁磁畴的精细结构。
1998年至今,作为主要参加人完成超大规模集成电路关键工艺研究(0.25微米),高性能栅长27纳米CMOS器件及关键工艺技术研究,获北京市科学技术一等奖,国家发明二等奖。作为负责人完成国家自然基金重点项目“ULSI中铜互连技术研究”,为我国首次自主研究铜互连技术。完成国家973项目“磁性存储器研究”,现为“下一代高清晰度平板显示基础研究”的课题负责人,”特种功率器件”项目首席专家,自然基金重点项目”等离子体注入机” 负责人。

备注:
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