研究队伍
 
 
 
 
 
 
 
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姓 名:
陈大鹏
性    别:
职 务:
副所长
职    称:
研究员
学 历:
博士
通讯地址:
北京市朝阳区北土城西路3号
电 话:
邮政编码:
100029
传 真:
电子邮件:
dpchen@ime.ac.cn

所属部门:
集成电路先导工艺研发中心(十室)
简历:
研究方向:

微细加工技术

学科类别:
核技术及应用
社会任职:
获奖及荣誉:

2003年“0.1-0.35微米集成电路关键技术研究”获北京市科技进步一等奖

代表论著:
承担科研项目情况:

(1)“九五”国家重点科技攻关项目97-762“0.1-0.35微米集成电路关键技术研究”的子专题97-762-03 “先进的深亚微米工艺技术”;
(2)科学院重大创新方向性项目“电子束缩小投影光刻机(SCALPEL)”的子课题“投影电子束掩模研制”;
(3)科技部863项目“多传感器及阵列传感器集成”;
(4)科技部863项目“无掩模光刻系统”;
(5)科技部863项目;
(6)自然基金仪器专项“新型光学读出非制冷红外成像系统”;
(7)自然基金“悬臂梁微尖端阵列器件加工及应用技术研究”;
(8)中科院知识创新方向性项目。

备注:
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