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论文编号: 1725110120160046
第一作者所在部门:
论文题目: Research of periodic amorphous carbon composite films for MEMS IR source fabricated by magnetron sputtering
论文题目英文:
作者: 明安杰
论文出处:
刊物名称: IEEE NEMS2016
: 2016
:
: 1
: 978
联系作者: 明安杰
收录类别:
影响因子:
摘要:
英文摘要:
外单位作者单位:
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