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论文编号: 1725110120160051
第一作者所在部门:
论文题目: Development of MEMS IR source by compound release process with nano-scale silicon forest radiation layer
论文题目英文:
作者: 刘卫兵
论文出处:
刊物名称: IEEE sensor
: 2016
:
: 1
: 739
联系作者: 明安杰
收录类别:
影响因子:
摘要:
英文摘要:
外单位作者单位:
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