科研成果
 
 
 
 
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获奖题目:
获奖编号:
获奖时间: 2016年
获奖名称: 22纳米集成电路核心工艺
主要完成人: 叶甜春,徐秋霞,朱慧珑,陈大鹏,赵超,闫江,王文武,霍宗亮,李俊峰,殷华湘,李东三,张建勇,王敬
完成单位: 中国科学院微电子研究所、北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司、清华大学
成果介绍:
获奖类别: 2016年北京市科学技术奖一等奖
获奖等级:
授奖部门:
开始日期
结束日期:
登记人: