科研成果
 
 
 
 
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获奖题目:
获奖编号:
获奖时间: 2014年1月10日
获奖名称: 高精度微纳结构掩模制造核心技术
主要完成人: 刘明、谢常青、叶甜春、陈宝钦、卞福良、龙世兵
完成单位:
成果介绍:
获奖类别: 2013年国家技术发明二等奖
获奖等级:
授奖部门: 中华人民共和国国务院
开始日期
结束日期:
登记人: