科研成果
 
 
 
 
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获奖题目:
获奖编号: D02-2007-025
获奖时间: 2008年12月
获奖名称: 100nm高密度等离子刻蚀机研发与产业化
主要完成人: 赵晋荣、张伯旭、耿锦启、张建勇、李东三、王宝全、李 兵、孙 岩、张秀川、刘利坚、赵梦欣、南建辉、夏 威、白志民、徐 华
完成单位: 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司、中国科学院微电子研究所、清华大学、北京大学
成果介绍:
获奖类别: 北京市科学技术奖一等奖
获奖等级:
授奖部门: 北京市人民政府
开始日期
结束日期:
登记人: