科研成果
 
 
 
 
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获奖题目:
获奖编号:
获奖时间: 2009年12月23日
获奖名称: 100nm高密度等离子刻蚀机研发与产业化
主要完成人:
完成单位: 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司,中国科学院微电子研究所,清华大学,北京大学
成果介绍:
获奖类别: 国家科学技术进步二等奖
获奖等级:
授奖部门: 中华人民共和国国务院
开始日期
结束日期:
登记人: